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TESCOM 12 系列超高纯度调压器

一款微型的降压调压器,为半导体 OEM 工具、气体控制箱和低压气柜提供可靠的气体控制

12 系列是一种微型超高纯度工业气体 (IGS)/VCR® 减压型调压器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光洁度,采用束缚阀膜以及内部无弹簧和无螺纹的设计。 进口压力为 150 psig / 10.3 bar,出口压力为 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar,流速可达 120 SLPM。 非常适合用于 OEM 工具、气箱和低压气瓶柜。

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